● 氣體回收系統(tǒng)純化裝置 氣體回收裝置是對氫氣、氮氣、氬氣和氦氣進(jìn)行回收再利用。采用該系列裝置是一項降低生產(chǎn)成本，節(jié)約能源，提高經(jīng)濟(jì)效益的有力措施。 氫氣回收裝置主要用于鎢鉬待業(yè)還原工序排出的廢氫，收集廢氫后進(jìn)入預(yù)處理系統(tǒng)，經(jīng)增壓后由冷卻器冷卻，汽水分離器分離水份，然后進(jìn)入純化裝置主體部分，對氫氣進(jìn)行精制處理，經(jīng)處理后的氫氣中含氧量≤5ppm,H2O≤10ppm。氫氣回收裝置分為中壓回收和常壓回收，中壓回收氫氣的增壓由壓縮機(jī)進(jìn)行，而常壓回收則由羅茨風(fēng)機(jī)來完成。 氬氣回收純化裝置是對區(qū)熔單晶硅爐排出的氬氣進(jìn)行回收處理，通過膜片壓縮機(jī)穩(wěn)壓器進(jìn)入氬氣純化裝置主體部分進(jìn)行純化處理，使氬氣純度達(dá)到99.999%以上。 氮氣、氦氣回收裝置一般按照用戶要求，以非標(biāo)準(zhǔn)型號提供，其純度為99.999%以上。